压力传感器的常用定义及安装指南
压力传感器的原理和应用领域
传感器是将各种非电量(包括物理量、化学量、生物量等)按一定规律转换成便于处理和传输的另一种物理量 (一般为电量)
的装置。传感器一般由敏感元件、转换元件和测量电路三部分组成,有时还需外加辅助电源。 传感器如以下方框图所示。
方框图:
制造半导体压力传感器的基本原理是利用硅晶体的压阻效应。单晶硅材料在受到应力作用后,其电阻率发生明显变化,这种现
象称为压阻效应。
压力传感器所用的元件材料是具有压阻效应的单晶硅、扩散掺杂硅和多晶硅。根据晶体不受定向应力时,电导率是同性的,只
有受定向应力时才表现出各向异性,由于应力能引 起能带的变化,能谷能量移动,导致电阻率的变化,于是就有电阻的变化,
从而产生压阻效应。单晶硅效应包括n型和p型硅压阻效应。选用扩散硅目的在于在设计 制造压力传感器时可根据不同温度下硅
扩散层的压阻特性选择合适的扩散条件,力求使压力传感器具有良好的性能。多晶硅在传感器中有广泛的用途,可作为微结构
和填充材料、敏感材料。
压力传感器按用途分类主要是压力监视、压力测量和压力控制及转换成其他量的测量。按供电方式分为压阻型和压电型传感
器,前者是被动供电的,需要有外电源。后者是传感器自身产生电荷,不需要外加电源,根据不同领域对压力测量的精度不同
分为低精度和高精度的压力传感器。
压力传感器主要有以下参数
1、量程Capacity
2、灵敏度Rated output
3、非线性Non-linearity
4、重复性Repeat ability
5、蠕变Creep
6、滞后Hysteresis
7、零点输出zero balance
8、输入阻抗Input resistance
9、输出阻抗Output resistance
10、绝缘阻抗Insulation impedance
11、工作温度范围Operation Temp range
12、温度补偿范围Compensated temp range
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压力传感器的常用定义及安装指南
压力传感器的常用定义
◆标准压力:以大气压为标准表示的压力大小。大于大气压的叫正压;小于大气压的叫负压。
◆差压(压差):两个压力之间的相对差值。
◆绝对压力(A):以绝对真空为标准表示的压力大小。
◆相对压力(表压力)(G):相对于标准压力而言。表压力=绝对压力-大气压。
◆大气压:指地球表面上的空气柱因重力而产生的压力。它和所处的海拔高度、纬度及气象状况有关。1标准大气压(1atm)相
当于高度为760mm水银柱的压力。
◆真空:指低于大气压的压力状态。1Torr=1/760气压(atm)。
压力传感器的安装指南
◆安装前请仔细阅读产品使用说明书,并核对产品的相关信息。
◆传感器应安装在通风、干燥、无蚀、阴凉处,如露天安装应加防护罩,避免因阳光照射和雨淋影响产品的正常使用。
◆安装时忌强力冲击、棒打。
◆按正确接线方式接线,同时注意保护传感器的引出线。
◆清洁传感器压力接口和引压孔时,应使用三氯乙烯或酒精注入引压孔中,并轻轻晃动,再将液体倒出,反复多次。
◆禁止使用任何坚硬器具伸入引压孔中,以免损伤敏感芯体。
相关传感器资料如下:
压力传感器的原理和类型
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